Produkter

Tsinghua Universitéit: eng nei Method fir lokal Uewerfläch Form Feeler a Qualitéit Evaluatioun vun opteschen Elementer

D'Entwécklung vum High-Performance opteschen Imaging System deckt d'Schrëtt vum opteschen Design, Fabrikatioun, Inspektioun, Montage an Upassung.Den Design vun opteschen System ass den Ufank vun der ganzer Prozess Kette vun realiséiert opteschen System.Toleranzanalyse ass d'Schlësselbréck tëscht Design a Fabrikatioun.Raisonnabel a genee Verdeelung vun Fabrikatioun Feeler vun all opteschen Fläch ass förderlech fir d'Realisatioun vun héich-Präzisioun opteschen Element Fabrikatioun.D'Qualitéit Evaluatioun vun opteschen Elementer wäert eng genee Evaluatioun vun der Fabrikatioun Resultater maachen, déi hëlleft der Qualitéit vun opteschen Element Fabrikatioun weider ze verbesseren.

Element Fabrikatioun 1 

Figur 1. Lokal Uewerfläch Form Feeler an Evaluatioun

Déi effektiv Toleranzanalysemethod, déi fir méi wéi en halleft Joerhonnert considéréiert gouf, baséiert op Monte Carlo Wahrscheinlechkeetsstatistiken.Dës Toleranz ass eng vereenegt Beschreiwung vun der ganzer Uewerflächform.Et spezifizéiert de maximalen RMS Wäert oder PV Wäert vun der Uewerfläch Form Feeler.Zur selwechter Zäit ass d'Qualitéit vun opteschen Elementer och duerch RMS-Wäert oder PV-Wäert vum Uewerflächefeeler charakteriséiert.Wéi och ëmmer, déi aktuell Situatioun vum optesche System ass extrem komplex.Déi existéierend Toleranzanalysemethoden baséiert op Monte Carlo kënnen net verschidden Toleranzfuerderunge fir verschidde Beräicher vun der Uewerfläch ginn.De RMS Wäert oder PV Wäert vun der Uewerfläch Form Feeler kann net präziist d'Qualitéit vun opteschen Elementer evaluéieren.

No siwe Joer vun Efforten, Zhu Jun, en Associé Professer vum Departement vun Präzisioun Instrumenter vun Tsinghua Universitéit, confirméiert datt verschidde Beräicher vun opteschen Elementer verschidden Toleranz Ufuerderunge hunn, a proposéiert eng lokal Uewerfläch Toleranz Modell fir optesch Fläch.D'lokal Toleranz Modell kann präziist verschidden Toleranz Ufuerderunge fir verschidde Beräicher op der Uewerfläch kréien, sou datt verschidde Beräicher vun der Uewerfläch no verschiddene Genauegkeet Ufuerderunge hiergestallt kënne ginn.De lokalen Toleranzmodell ënnersträicht déi global Toleranzanalysetheorie baséiert op Monte Carlo statistesch Wahrscheinlechkeet fir méi wéi 50 Joer.D'Fuerschungsteam berechent déi lokal Uewerfläch Toleranz vun dräi Spigelen vun engem Off-Achs dräi Spigel opteschen System (Dorënner 1) an zwee Spigelen vun engem Cassegrain Typ System (Dorënner 2), a simuléiert a verifizéiert Toleranz.D'Resultat vun der Toleranzberechnung weist evident Lokaliséierung.

 Element Fabrikatioun 2

Figur 2. Am Off-Achs Triple Spigel System sinn d'lokal Uewerfläch Toleranz Verdeelung vun den dräi Spigelen (a), (b) an (c) d'Deviatioun Verdeelung op der Uewerfläch vun den dräi Spigelen respektiv.

 Element Fabrikatioun 3

Figure 3. Am RC System analyséiert d'lokal Profil Toleranzverdeelung vum primäre Spigel a Secondaire Spigel gläichzäiteg (a), (b), (c) sinn d'Profilabweichungsverdeelung vum primäre Spigel, an (d), (e) ), an (f) sinn d'Profildeviatiounsverdeelung vum sekundäre Spigel, respektiv

Zur selwechter Zäit huet d'Fuerschungsteam eng präzis Evaluatiounsfunktioun RWE fir d'Qualitéit vun opteschen Elementer proposéiert, déi direkt mat der Bildleistung verbonnen ass, déi traditionell RMS oder PV Wäerter ersat fir d'Qualitéit vun opteschen Elementer ze evaluéieren an d'Qualitéit vun engem Serie vun Elementer mat verschiddene Uewerfläch Feeler (Figur 3).D'Resultater weisen datt d'Qualitéit vun de Komponenten mat dem selwechte PV oder RMS Wäert anescht ass, an d'Komponente mat méi niddereger geometrescher Genauegkeet kënne besser Bildqualitéit produzéieren wéi déi mat méi héijer geometrescher Genauegkeet.

Element Fabrikatioun 4

Déi selwecht optesch Elementer vun RMS kënnen och hir Bildqualitéit duerch RWE z'ënnerscheeden.Fir d'Fabrikatioun Inspektioun Partei, d'Qualitéit vun Komponente no Fabrikatioun kann onofhängeg ouni Design Dokumenter bewäert ginn.RWE hëlleft séier d'Komponenten ze wielen déi den Imaging Ufuerderunge entspriechen, a gëtt déi bescht passende Kombinatioun tëscht verschiddene Komponenten.Figur 4. D'Qualitéit vun Komponente mat der selwechter PV oder RMS Wäert ass anescht

De lokalen Toleranzkader, deen an dëser Etude proposéiert gëtt, gëtt nei technesch Ënnerstëtzung fir d'Fabrikatioun vun opteschen Systemer, besonnesch héichpräzis a grouss Ouverture optesch Systemer wéi Lithographiesystemer a Weltraumteleskopen, a wäert e revolutionären Impakt op d'Theorie, d'Technologie an d'Standarden hunn. am Beräich vun opteschen Design an Fabrikatioun.Den 8. September goufen déi uewe genannte Leeschtungen an der Zäitschrëft OPTICA ënner dem Titel "Lokal Uewerflächefeeler a Qualitéitsevaluatioun fir optesch Flächen" publizéiert.


Post Zäit: Nov-01-2022